各種工業(yè)廢氣的治理目前都使用椰殼活性炭成型技術(shù)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的干式排氣處理中廣泛使用椰殼活性炭的主要原因，有如下七點(diǎn)：
　　(1)【化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定】
　　(2)【價(jià)格便宜】
　　(3)【有活性力】
　　(4)【比表面積大】
　　(5)【供給穩(wěn)定】
　　(6)【安全性好】
　　(7)【比重比較輕】
    干式排氣處理方式有兩種．一種是利用具有這些優(yōu)點(diǎn)的椰殼活性炭本身的吸附機(jī)能及觸媒機(jī)能的方式；另一種是利用通過(guò)添加成分提高了吸附機(jī)能及觸媒機(jī)能的機(jī)能性椰殼活性炭的方式。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中一般使用成型椰殼活性炭及破碎狀顆粒活性炭，幾乎不使用蜂巢狀活性炭及其他考慮壓力損失等的特殊形狀的椰殼活性炭。這是因?yàn)椋�所使用的半�?dǎo)體產(chǎn)業(yè)的氣體中，特別是需要處理的氣體，大多數(shù)是無(wú)機(jī)系的氣體，無(wú)論是進(jìn)行吸附反應(yīng)還是進(jìn)行觸媒反應(yīng)，無(wú)機(jī)反應(yīng)產(chǎn)物都附著在椰殼活性炭表面上，總表面積等比壓力損失更加重要的緣故。
　　椰殼活性炭采用椰子殼為原料精制而成，外形為不定形顆粒，具有機(jī)械強(qiáng)度高，孔隙結(jié)構(gòu)發(fā)達(dá)，比表面積大，吸附速度快，吸附容量高，易于再生，經(jīng)久耐用等特點(diǎn)。  主要用于食品、飲料、藥用活性炭、酒類、空氣凈化活性炭和高純飲用水的除臭、去除水中重金屬、除氯及液體脫色。并可廣泛用于化學(xué)工業(yè)的溶劑回收和氣體分離等。使用壽命長(zhǎng)，種類齊全，分別為黃金提煉專用活性炭、水處理活性炭、味精精制炭、石化脫硫醇專用炭、維尼綸觸媒載體活性炭、乙烯脫鹽水炭、香煙過(guò)濾咀炭等等，廣泛應(yīng)用于食品、醫(yī)療、礦山、冶金、石化、煉鋼、煙草、精細(xì)化工等行業(yè)。

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